应用范围
主要用于制造变送器。其中包括绝对压力、表压、差压、流量变送器,也用于控制和调节系统,广泛用于矿山、采炼油、供水、供气、汽车、飞机、航天等领域。
原理是基于硅的应变电阻效应。在蓝宝石衬底上硅敏感元件构成灵敏的应变计电路一由4个有效的敏感应变计的惠斯顿电桥。蓝宝石膜片与高弹性合金膜片固封为一体,流体压力作用于这种一体的双膜结构使电阻应变计变化,并将这种变化转换为电信号。
采用微电子加工方法做成的这种双膜结构,便于保证重复性和可靠性(压力不泄漏)。蓝宝石膜片与金属膜片是在高真空下,用静电或其它分子键合方法封接为一体的,保证了在很宽的温区内具有很小的机械滞后(0.05%)和使传感器具有长期稳定性(在大信号输出情况下<0.1%/6个月)。
技术指标
| 使用温区: |
-55~150℃;-50~200℃; -200~400~℃。 |
线性误差: |
±0.5%F.S |
零点输出: |
-5mV<Vo<5mV |
输出信号: |
≥60mV~≤400mV |
桥路阻值: |
1.25±0.25KΩ, 4.5±0.35KΩ |
零点温漂: |
≤0.05%/℃(F.S) |
灵敏度温漂: |
≤0.05%/℃(F.S) |
过量程上限 |
60Mpa以下为1.6倍 , 60Mpa以上为1.2倍 |
供电: |
V型5VDC , C型1.5mADC |
机械尺寸
M14x1.75mm外螺纹,最大直径27,长40mm。M12x1.25mm外螺纹加90 锥口,最大直径20,长35mm。有MIOxl.25mm外螺纹,最大直径17,长35mm。
接线:红色与蓝色为输入“+”与“-”黑色与白色为输出“+”与“-” |
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量程额定范围
0-0.1(MPa) |
0-0.16(MPa) |
0-0.25(MPa) |
0-0.6(MPa) |
0 1.6(MPa) |
0-2.5(MPa) |
0-6.0(MPa) |
0-16(MPa) |
0-25(MPa) |
0-40(MPa) |
0-60(MPa) |
0-100(MPa) |
0-250(MPa) |
0-400(MPa) |