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硅蓝宝石压力传感器(发明专利产品)

应用范围

主要用于制造变送器。其中包括绝对压力、表压、差压、流量变送器,也用于控制和调节系统,广泛用于矿山、采炼油、供水、供气、汽车、飞机、航天等领域。

原理是基于硅的应变电阻效应。在蓝宝石衬底上硅敏感元件构成灵敏的应变计电路一由4个有效的敏感应变计的惠斯顿电桥。蓝宝石膜片与高弹性合金膜片固封为一体,流体压力作用于这种一体的双膜结构使电阻应变计变化,并将这种变化转换为电信号。

采用微电子加工方法做成的这种双膜结构,便于保证重复性和可靠性(压力不泄漏)。蓝宝石膜片与金属膜片是在高真空下,用静电或其它分子键合方法封接为一体的,保证了在很宽的温区内具有很小的机械滞后(0.05%)和使传感器具有长期稳定性(在大信号输出情况下<0.1%/6个月)。

技术指标

 使用温区:

 -55~150℃;-50~200℃; -200~400~℃。

 线性误差:

 ±0.5%F.S

 零点输出:

 -5mV<Vo<5mV

 输出信号:

 ≥60mV~≤400mV

 桥路阻值:

 1.25±0.25KΩ, 4.5±0.35KΩ

 零点温漂:

 ≤0.05%/℃(F.S)

 灵敏度温漂:

 ≤0.05%/℃(F.S)

 过量程上限

 60Mpa以下为1.6倍 , 60Mpa以上为1.2倍

 供电:

 V型5VDC , C型1.5mADC

机械尺寸


M14x1.75mm外螺纹,最大直径27,长40mm。M12x1.25mm外螺纹加90 锥口,最大直径20,长35mm。有MIOxl.25mm外螺纹,最大直径17,长35mm。

接线:红色与蓝色为输入“+”与“-”黑色与白色为输出“+”与“-”

量程额定范围

 0-0.1(MPa)

 0-0.16(MPa)

 0-0.25(MPa)

 0-0.6(MPa)

 0 1.6(MPa)

 0-2.5(MPa)

 0-6.0(MPa)

 0-16(MPa)

 0-25(MPa)

 0-40(MPa)

 0-60(MPa)

 0-100(MPa)

 0-250(MPa)

 0-400(MPa)